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實驗室及研發中心

R&D Center

X射線衍射（XRD）
原子力顯微鏡（AFM）
可靠性預測與評估實驗室
半導體材料研發實驗室
掃描電子顯微鏡（SEM）
鵬城微納技術（沈陽）有限公司
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鵬城微納技術（沈陽）有限公司（簡稱：鵬城微納），公司依托于哈爾濱工業大學（深圳），具備先進的半導體研發設備平臺和檢測設備平臺，可以在高起點開展科研工作。公司總部位于深圳市，具備半導體裝備的研發、生產、調試以及半導體材料與器件的中試、生產、銷售的能力。

公司核心業務是半導體襯底材料的研發與制造，半導體外延片的研發與制造，半導體工藝裝備的研發與制造。包括了半導體裝備（工業母機）研發、生產制造和銷售；主要是PVD、CVD和MBE系列設備；熱絲CVD金剛石工藝研發、金剛石工藝裝備的設計制造和銷售；重點是研發微米晶、納米晶金剛石晶圓片和工業母機的研發制造；以產學研的模式，圍繞第二代、第三代、第四代半導體，開展半導體材料制備和工業母機的研發和中試，研發設計自主可控的成套工藝裝備和關鍵零部件，研發設計自主可控的半導體襯底材料和外延片。

公司人才團隊知識結構完整，有來自工業界的高級裝備設計師團隊，他們具有20多年的半導體材料研究、外延技術研究和半導體薄膜制備成套裝備設計、生產制造的經驗。

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2025年5月15日是全省第十九個“政務公開日”，圍繞“深化政務公開、助力決戰決勝”的活動主題，沈陽市科技創新服務中心以政務公開為契機，結合沈陽市科技創新政策宣傳與助企服務需求，開展了專題調研走訪活動。
鵬城微納-MBE分子束外延科研與生產設備項目喜獲遼寧省創新創業大賽一等獎 鵬城微納-MBE分子束外延科研與生產設備項目喜獲遼寧省創新創業大賽一等獎
近日，第十二屆中國創新創業大賽（遼寧賽區）暨2023年遼寧創新創業大賽行業賽啟幕。中國創新創業大賽是全國范圍內歷史最久、規格最高、影響力最廣的創新創業賽事。遼寧賽區比賽已成為省內科技企業融資對接、技術合作、成果轉化的重要載體和平臺。本屆大賽累計吸引582家企業報名參賽，經過前期城市賽的激烈角逐，遴選出234家企業晉級全省行業賽。今年，省行業賽將按照新一代信息技術、高端裝備制造、生物醫藥、新能源和新能源汽車、新材料、節能環保6大行業領域，分別在沈陽高新區、鞍山高新區、本溪高新區、錦州高新區、營口高新區以及盤錦高新區舉行，最終選拔出75家行業內優秀企業。
遼寧省工信廳副廳長毛豐燕、市科技局副局長孫曉慧一行到鵬城微納技術（沈陽）有限公司調研 遼寧省工信廳副廳長毛豐燕、市科技局副局長孫曉慧一行到鵬城微納技術（沈陽）有限公司調研
近日，遼寧省工信廳副廳長毛豐燕、市科技局副局長孫曉慧一行5人來我司鵬城微納技術（沈陽）有限公司開展實地調研，全面了解微納項目開展情況，就鵬城微納今后的發展路線、部委省市相關政策申報進行指導。隨后由鵬城微納吳向方先生帶領團隊陪同區委常委、副區長關浩，區科技局主要領導參觀鵬城微納生產制造中心，也為各領導進行了整體的公司介紹。
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